1.   被測件最大長度：150mm

2.   工作臺行程：5 mm

3.   測桿移動范圍：0.5mm

4.   分劃板刻度范圍：±50格

5.   直接測量范圍：5-20μm

6.   分度值調整范圍：0.05-0.2 μm

7.   推薦使用分度值：0.1 μm

8.   測量壓力：(1.5±0.1) N

9.   儀器示值穩定性：0.02 μm

10. 儀器誤差：數字顯示

11.    最大測量誤差：±（0.03+1.5ni △λ/λ）um

  n 是格數, i是格值,λ是濾光片中心波長，△λ是濾光片波長誤差

12. 儀器體積：280×500×700 mm

13. 儀器重量：40 kg

二. 標準配置

1.   接觸式干涉儀

2.   五筋平臺、輔助臺、平面平臺、瑪瑙工作臺

3.   平面測帽、小球面測帽

4.   平行平晶

5.   測力裝置

6.   調壓變壓器、照明器

7.   測桿提升器

      8. 產品合格證、保修卡及說明書