無塵車間之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給于特別設(shè)計之密閉空間。
光學微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室,目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來,由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展,對于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目,而我公司的設(shè)計理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于領(lǐng)先地位。
電子凈化工程一般包括:
1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)
2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)
3、 管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)
4、 設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)
光學微電子凈化工程凈化原理
氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化 重復以上過程,即可達到凈化目的。
電子凈化工程凈化參數(shù)
換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。
光學微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料
1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、剛性強。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3.送回風管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.高效送風口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
電子凈化工程解決方案:
凈化工程的設(shè)計過程中,應(yīng)加強對光學微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程,并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況,同時還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟承受能力,綜合各種因素來確定采用何種凈化方案,這樣才可設(shè)計出一個能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價合理、經(jīng)濟節(jié)能實用的方案。
ISO14644-1(國際標準)
空氣潔凈度等級(N) |
大于或等于所標粒徑的粒子zui大濃度限值(個/每立方米空氣粒子 |
|||||
0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1.0um |
5.0um |
|
ISO CIass1 |
10 |
2 |
|
|
|
|
ISO CIass2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
||
ISO CIass3 |
1,000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
ISO CIass4 |
10,000 |
2,370 |
1,020 |
352 |
83 |
|
ISO CIass5 |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
ISO CIass6 |
1,000,000 |
237,000 |
102,000 |
35,200 |
8,320 |
293 |
ISO CIass7 |
|
|
|
352,000 |
83,200 |
2,930 |
ISO CIass8 |
|
|
|
3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
ISO CIass9 |
|
|
|
35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |